紫外臭氧清洗機是一種簡單，經(jīng)濟，快速高效的材料表面清洗設備，能快速去除大多數(shù)無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機污染物。它常用于掃描探測顯微鏡的樣品應用，該設備能用于清洗原子力顯微鏡探針，掃描探針顯微鏡標準和表面上常規(guī)的油漬層和殘留的無機材料，也能用來改變物體表面的疏水性，有助于部件和表面的化學改性，經(jīng)過氧化和硬化處理的探針有利于在掃描過程中保持探針的幾何形狀，削尖的探針有利于提高側向分辨率。
臭氧清洗機設備已經(jīng)用于納米技術，化學，生物學，光學，電子學，半導體和其他全球范圍內的科學實驗室。
紫外臭氧清洗機的特點：
1、UVO基礎型采用可編程數(shù)字控制器，設置操作簡單方便，四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設置顯示計時時間及加熱溫度。
2、自動補償功能，自動恒定光強光密度，不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。
3、數(shù)字倒計時顯示清洗時間，1-999分鐘之間可自行設置清洗時間。
4、可隨時手動中斷處理過程。
5、自動記錄之前清洗參數(shù)設置。
6、樣品臺可控溫（可選），控溫范圍RT-260℃，控溫精度0.1℃。
7、頂置下壓式鉸鏈開關蓋方式，操作簡單方便。
8、上置式樣品臺設計，360度自由放置樣品，操作方便。
9、樣品臺高度可調，通過調節(jié)燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。
10、UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為8000小時。
11、高強度UV燈源，波長185nm和254nm。
12、UV反射罩（長x寬）比UV格柵燈大2.5cm，比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。
13、雙重安全保護，當清洗腔打開時，系統(tǒng)安全鎖會關掉UV燈，并有燈光通斷提示。
14、帶進&出氣口雙氣路設計，可接入氧氣或者臭氧，增加臭氧產(chǎn)量。
15、UVO5可選外置臭氧中和器，UVO9、UVO12系列可選外置或者內置臭氧中和器，用于臭氧清除。
16、可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應腔。
