等離子體清洗的機(jī)理，主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機(jī)理來看，等離子體清洗通常包括以下過程：無機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子解析形成氣相；反應(yīng)殘余物脫離表面。

　　為保證銅引線框架即銅支架在打線和封塑時可靠性，提升良率，通常會使用等離子清洗機(jī)對銅支架進(jìn)行等離子清洗，其等離子處理的效果受多重因素影響，以往大家關(guān)注會集中在銅支架自身以及所選用的等離子清洗機(jī)設(shè)備及參數(shù)。但其實(shí)料盒本身的幾方面因素也會對等離子處理的效果有不小的影響。

　　1、規(guī)格尺寸

　　不同規(guī)格尺寸的銅引線框架所對應(yīng)使用的料盒尺寸也是不同的，而料盒尺寸對等離子清洗處理的效果有一定關(guān)系，通常來說，料盒的尺寸越大，等離子體進(jìn)入料盒內(nèi)部的時間就會越長，對等離子處理的均勻性及效果有所影響。

　　2）間距大小

　　這里所談及的間距主要是指每層銅引線框架之間的距離，間距越小，等離子清洗銅引線框架的效果和均勻性會相應(yīng)地變差。

　　3）槽孔特點(diǎn)

　　將銅引線框架放入料盒進(jìn)行等離子清洗處理，假如四面不開槽，就會形成遮擋，等離子體很難進(jìn)入，影響處理的效果，與此同時還需要的是屏蔽效應(yīng)、開槽孔的位置、槽孔大小。

　　此外，料盒的蓋子是不是要蓋，以及什么時候蓋，這些都對等離子清洗效果有影響。